[22a-A202-1~9] 6.2 カーボン系薄膜

△ [22a-A202-3] 高水素化DLC膜の熱分解過程

〇丹羽 大輔¹、三嶋 友博¹、中西 康次¹、神田 一浩¹、竹内 雅耶²、福室 直樹² (1.兵県大高度研、2.兵県大工)

キーワード：高水素化DLC膜、昇温脱離

高水素化DLC膜は温度上昇により, 水素脱離などの改質が起きることが分かっている. 今回は昇温脱離分析(TDS)を行って, 高水素化DLC膜の熱分解過程について調べた.その結果、360℃付近に水素分子の、450℃付近に炭化水素のピークが観測された。よって高水素化DLC膜は360℃付近で水素脱離が起こり、450℃付近で炭化水素の脱離が起こっていると考えられる。