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一般セッション(口頭講演)

6 薄膜・表面 » 6.2 カーボン系薄膜

[22a-A202-1~9] 6.2 カーボン系薄膜

2022年9月22日(木) 09:00 〜 11:30 A202 (A202)

大越康晴(電機大)

10:00 〜 10:15

△ [22a-A202-5] Si含有DLC膜の軟X線照射による化学状態変化

〇(M1)三嶋友博¹、中西康次¹、新部正人¹、春山雄一¹、神田一浩¹ (1.兵県大高度研)

キーワード：ダイヤモンドライクカーボン