[22a-A404-1~2] 7.4 Buried interface sciences with quantum beam

[22a-A404-2] High-resolution visualization of the buried multi-layer stack-film interfaces by inverse analysis of 4D-XPS measurement Big data (II)

〇Satoshi Toyoda¹, Masashi Yoshimura², Hirosuke Sumida³, Susumu Mineoi³, Masatake Machida⁴, Akitaka Yoshigoe⁵, Akira Yoshikawa¹, Satoru Suzuki⁶, Kazushi Yokoyama⁶ (1.Tohoku Univ., 2.SPring-8 Service, 3.Mazda, 4.Scienta Omicron, 5.JAEA, 6.Univ. of Hyogo)

Keywords:buried interface, x-ray photoelectron spectroscopy measurements, Bigdata analysis

今回、4D-XPS計測ビッグデータの逆解析処理のアルゴリズムを改良して、メモリ負荷を99.99993%削減することに成功し、10TB 級の140億本(28 億本 x5 元素)のスペクトルピークフィッティングが実行可能になった。さらに、並列処理の最適化によって、140 億本のスペクトル数に対応する面内方向 1000 点 x1000 点かつ時間方向 200 点の計2億の深さ方向分布解析を可能にした。これまで構築した解析処理の高速化技術と併せて行うことで、多層積層膜に埋もれた界面をより高解像度で可視化するための基盤技術になることが期待される。