[22a-A404-1~2] 7.4 量子ビーム界面構造計測

[22a-A404-2] 4D-XPS 計測ビッグデータの逆解析による多層積層膜に埋もれた界面の高解像度可視化(II)

〇豊田 智史¹、吉村 真史²、住田 弘祐³、三根生 晋³、町田 雅武⁴、吉越 章隆⁵、吉川 彰¹、鈴木 哲⁶、横山 和司⁶ (1.東北大、2.SP8サービス、3.マツダ、4.シエンタオミクロン、5.原子力機構、6.兵庫県大)

キーワード：埋もれた界面、X線光電子分光計測、ビッグデータ解析

今回、4D-XPS計測ビッグデータの逆解析処理のアルゴリズムを改良して、メモリ負荷を99.99993%削減することに成功し、10TB 級の140億本(28 億本 x5 元素)のスペクトルピークフィッティングが実行可能になった。さらに、並列処理の最適化によって、140 億本のスペクトル数に対応する面内方向 1000 点 x1000 点かつ時間方向 200 点の計2億の深さ方向分布解析を可能にした。これまで構築した解析処理の高速化技術と併せて行うことで、多層積層膜に埋もれた界面をより高解像度で可視化するための基盤技術になることが期待される。