[22a-A406-1~5] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術

△ [22a-A406-3] 電極間の容量変化による液体検出センサシステムの開発

〇鈴木 結以¹、今泉 文伸¹ (1.小山高専)

キーワード：MEMS、センサ