2022年第83回応用物理学会秋季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

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[22a-A406-1~5] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術

2022年9月22日(木) 09:00 〜 10:15 A406 (A406)

呉 研(日大)

09:15 〜 09:30

[22a-A406-2] エッチホールを有するAu錘構造のMEMS加速度センサの減衰定数簡易解析モデルの検討

御宿 希祐1、大西 哲1、Tenneti Devi Srujana1、Chakraborty Parthojit1、町田 克之1、飯田 慎一2、小西 敏文2、曽根 正人1、三宅 美博1、伊藤 浩之1 (1.東工大、2.NTT-AT)

キーワード:MEMS、減衰定数、穴開き錘

当研究室では、錘に金を用いてブラウニアンノイズを低減した静電容量型MEMS加速度センサのための、減衰定数の簡易解析モデルについて提案し検討してきた。本論文では、提案モデルを1軸差動型Au錘MEMS加速度センサに適用し、妥当性を検討したので報告する。提案モデルを統合設計環境でシミュレーションした結果、従来のモデルによるシミュレーションと比較して、実験結果と一致し、我々の提案モデルが有効であることがわかった。