[22a-A406-1~5] 13.4 Si processing /Si based thin film / MEMS / Equipment technology

△ [22a-A406-1] Noise floor estimation of Au proof-mass single-axis MEMS sensor module

〇Akira Onishi¹, Kisuke Miyado¹, Devi Srujana Tenneti¹, Parthojit Chakraborty¹, Katsuyuki Machida¹, Taiki Ogata¹, Hirotaka Uchitomi¹, Tso-Fu Mark Chang¹, Masato Sone¹, Yoshihiro Miyake¹, Hiroyuki Ito¹ (1.Tokyo Tech)

Keywords:MEMS, Sensor Module, Allan Variance

本論文は、微弱筋音測定のための高感度Au錘1軸MEMS（micro-electromechanical systems）加速度センサを搭載した加速度センサモジュールのノイズフロア評価について報告する。モジュールノイズフロアをAllan分散を用いて評価した結果、市販センサのノイズフロアは221.6 μG/√Hzに対し、本試作モジュールでは26.7 μG/√Hzであり、市販センサよりノイズフロアが1桁低いことを明らかにした。以上より、本モジュールにより筋音測定の定量的評価が可能になった。