[22a-B204-1~11] 13.7 化合物及びパワーデバイス・プロセス技術・評価

[22a-B204-11] 通電過熱時におけるシリコンウェハ内の
過渡的温度分布の3次元イメージング

〇(M2)松口 康太郎¹、Yu Jiawen¹、花房 宏明¹、佐藤 拓磨¹、東 清一郎¹ (1.広大院先進理工)

キーワード：シリコン、温度測定、熱暴走