[22a-C101-1~11] CS.5 3.10 フォトニック構造・現象（旧3.11）、3.12 半導体光デバイス（旧3.13）のコードシェア

[22a-C101-7] Siフォトニック結晶放射一方向性スローライトビームスキャナの観測

〇陶山 実之¹、岡野 誠²、Cong Guangwei²、山本 宗継²、山田 浩治²、馬場 俊彦¹ (1.横国院工、2.産総研)

キーワード：LiDAR、フォトニック結晶

Siフォトニック結晶スローライト回折格子（SLG）は，光ビームを広い視野角で放射，スキャンできる．SLGの平面構造を最適化することで，SLGから放射される光を主に上方に取り出すことができる．今回は，この一方向性放射SLGをSiフォトニクスプロセスにより製作，評価した．評価の結果，強い放射が期待される伝搬方向では光強度が2～３倍明るくなり，LiDAR応用時に，6 dB以上の損失低減が期待された．