[22a-C201-1~10] 3.8 テラヘルツ全般（旧3.9）

△ [22a-C201-5] 親水化接合を用いたシリコンサブ波長構造の積層

〇豊島 理彩¹、宮田 香清¹、田中 海翔¹、飯嶋 航大¹、後藤 優花¹、正光 義則²、中岡 俊裕¹、和田 武彦² (1.上智大理工、2.宇宙航空研究開発機構)

キーワード：親水化接合、サブ波長構造、干渉フィルター

サブ波長構造(SWS)による実効屈折率制御では、リソグラフィによる2次元に比べ、積層による3次元での制御に課題が残る。本発表では、SWSを付加したSOI基板のデバイス層を親水化接合で積層し積層方向の屈折率制御を行った多層膜干渉フィルタを報告する。赤外光透過スペクトルの実測値とシミュレーション結果は、回折の影響がない波長領域でよい一致をした。また、異なる屈折率を持つSWS層間の接合にも成功した。