[22a-C301-1~11] 3.6 レーザープロセシング（旧3.7）

[22a-C301-8] エクリプス型PLD法によるハイドロキシアパタイト結晶成膜の
ラマン分光分析

〇屋代 英彦¹、欠端 雅之¹ (1.産総研　電子光)

キーワード：PLD法、ハイドロキシアパタイト、ラマン分光

骨固着のためのハイドロキシアパタイト成膜には原子状粒子の成膜が重要で液滴排除可能なエクリプス型PLD成膜が効果的であると考え実験を行った。この結果従来の結果より100℃以上低いアニール温度で高純度、高結晶成膜が可能であった。このラマンスペクトルの詳細な解析からナノサイズ結晶による非対称性のスペクトルからアニール温度の上昇で結晶サイズが大型化している結果が得られた。この様にハイドロキシアパタイト成膜の解析にラマン分光が非常に有用であることが確かめられた。