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[22p-A200-1] シリコン量子ビット素子の集積デバイス工学最前線
キーワード:半導体、集積化、量子コンピュータ
量子コンピューティングへの期待の中で、高い集積度を実現し得る基本素子としてシリコン量子ビット素子に注目が集まっている。昨今の特徴は、半導体デバイス・回路の集積化技術開発を担う企業および研究機関が参入してきていることにある。我々はシリコン量子ビット素子の集積デバイス工学を開拓することを志した研究活動を続けている。本発表ではその成果を紹介しつつ、研究開発動向を集積デバイス工学という視点で概観する。