[22p-A202-1~22] 6.2 Carbon-based thin films

[22p-A202-15] Formation of stacking faults in Mn-doped diamond (111) thin films

〇Makoto Kawano¹, Kazuyuki Hirama¹, Yoshitaka Taniyasu¹, Kazuhide Kumakura¹ (1.NTT BRL)

Keywords:diamond, doping

遷移金属（TM）をドーピングしたダイヤモンド薄膜は，磁性や新しい発光センタなどの新機能発現が期待されている。一方，高温高圧合成ダイヤモンド基板上のダイヤモンドCVD成長では，ダイヤモンド基板に残留するTMが積層欠陥形成の原因になることが報告されている。今回，TMの1つであるMnに注目し，Mnドーピングがダイヤモンド薄膜のプラズマCVD成長に与える影響を調べた。