[22p-A202-1~22] 6.2 カーボン系薄膜

[22p-A202-15] Mnドープダイヤモンド（111）薄膜中の積層欠陥形成

〇河野 慎¹、平間 一行¹、谷保 芳孝¹、熊倉 一英¹ (1.NTT物性研)

キーワード：ダイヤモンド、ドーピング

遷移金属（TM）をドーピングしたダイヤモンド薄膜は，磁性や新しい発光センタなどの新機能発現が期待されている。一方，高温高圧合成ダイヤモンド基板上のダイヤモンドCVD成長では，ダイヤモンド基板に残留するTMが積層欠陥形成の原因になることが報告されている。今回，TMの1つであるMnに注目し，Mnドーピングがダイヤモンド薄膜のプラズマCVD成長に与える影響を調べた。