[22p-A202-1~22] 6.2 カーボン系薄膜

[22p-A202-6] Ni箔上に背面から拡散成長させたh-BNのPEEM観察

遊佐 龍之介¹、青山 大晃¹、Li Boxuan¹、小川 修一^1,2、〇虻川 匡司^1,2 (1.東北大多元研、2.東北大国際放射光セ)

キーワード：窒化ホウ素、ニッケル箔、光電子顕微鏡

固体拡散法はh-BNの成長に有望なプロセスの一つである。本研究では、Ni箔の裏面に水で溶いたh-BN粉末を塗布した試料を真空中で加熱することで、h-BNが裏面から表面に拡散し、表面で成長する過程をPEEMで観察した。その結果、表面が(111)方位を向いたグレインやドメインのみにh-BNが成長していることが分かった。