[22p-B101-1~8] 先端計測と機能性酸化物研究の共進化

[22p-B101-5] 放射光時間分解XRDによる強誘電体ナノ構造の電場応答の解明と制御

〇山田 智明¹、舟窪 浩²、坂田 修身³ (1.名大工、2.東工大、3.JASRI)

キーワード：放射光X線回折、強誘電体、時間分解測定

近年、強誘電体膜を用いた圧電MEMSが注目されており、これらの性能向上には強誘電体膜の圧電特性の解明が重要である。特に外因的圧電性の理解は、特性の向上の鍵を握ると考えられている。しかしナノ・マイクロ秒で起こるドメインダイナミクスの計測は容易ではない。我々は、強誘電体ナノ構造の圧電特性の電場応答を、放射光時間分解X線回折で明らかにしてきた。本講演では、時間分解測定の概要と解析例を紹介する。