[22p-B102-1~10] 特色ある分光評価法による半導体発光材料・光物性再訪：新しい展開を目指して

△ [22p-B102-3] 自在な構造制御による多波長発光を目指したGaNマイクロレンズ構造上InGaN LED

〇松田 祥伸¹、船戸 充¹、川上 養一¹ (1.京大院工)

キーワード：窒化物半導体、マイクロ構造、多波長発光

蛍光体フリーな多波長発光構造としてInGaN系マイクロ構造がある．これまで，選択成長法によるマルチファセット構造が活発に研究されてきた．本研究では，テンプレート上になだらかなマイクロ構造をあらかじめ形成しておけば，微傾斜の効果によって多波長発光が得られることを示す．選択成長法では，安定な複数の結晶面を利用していたが，本手法では必ずしも安定面を使うわけではないため，スペクトルの制御性の向上が期待される．