2:30 PM - 2:45 PM
[22p-B103-4] Protective effect for a perovskite layer by a Cat-CVD SiNx gas barrier film
Keywords:perovskite
大気下でのMAPbI3の劣化抑止のための、Cat-CVDでSiNxガスバリア膜の形成に関し、膜堆積時のH2流量のペロブスカイト膜のキャリア寿命への影響を調査した。µ-PCDでの測定結果において、SiNx膜堆積により減衰曲線はゆるやかになり、また、大気曝露による劣化に伴う減衰曲線の変化も抑制されたことから、SiNxのガスバリア性能が確認された。また、膜堆積時のH2流量が少ないほど減衰曲線の変化が遅くなることも確認した。このことは、H2の分解によって生成されるHラジカルが、MAPbI3に影響を与える可能性を示唆する。