[22p-B103-1~17] 12.5 有機太陽電池

[22p-B103-4] Cat-CVD SiN_xガスバリア膜によるペロブスカイト層の保護効果

〇曹 文博¹、劉 鹏²、Tu Thi Cam Huynh¹、Md. Shahiduzzaman²、當摩 哲也²、大平 圭介¹ (1.北陸先端大、2.金沢大)

キーワード：ペロブスカイト

大気下でのMAPbI₃の劣化抑止のための、Cat-CVDでSiN_xガスバリア膜の形成に関し、膜堆積時のH₂流量のペロブスカイト膜のキャリア寿命への影響を調査した。µ-PCDでの測定結果において、SiN_x膜堆積により減衰曲線はゆるやかになり、また、大気曝露による劣化に伴う減衰曲線の変化も抑制されたことから、SiN_xのガスバリア性能が確認された。また、膜堆積時のH₂流量が少ないほど減衰曲線の変化が遅くなることも確認した。このことは、H₂の分解によって生成されるHラジカルが、MAPbI₃に影響を与える可能性を示唆する。