[22p-B104-1~14] 12.4 有機EL・トランジスタ

△ [22p-B104-14] ガラス並みの高バリア性能を有する塗布型 PHPS バリア膜の開発

〇佐々木 樹¹、吉田 麗娜²、黒澤 優²、高橋 辰宏¹、硯里 善幸² (1.山形大院有機材料シス、2.山形大 INOEL)

キーワード：ガスバリア、塗布、ペルヒドロポリシラザン

Vacuum ultraviolet (VUV)光によって緻密化したPHPSバリア膜は、簡便な塗布プロセスで作製可能であり、塗布型としては高いバリア性能を達成している。しかし、緻密性とバリア性能との関係性は未だわかっておらず、フレキシブルデバイスに要求されるバリア性能を達成できていない。本研究では、VUV光照射量-膜厚-緻密性-バリア性能の関係性を包括的に明らかにし、フレキシブルデバイスにも応用可能なガラス並みのバリア性能の実現を目標とする。