[22p-B202-1~17] 17.2 グラフェン

[22p-B202-14] SiC上に形成したグラフェンおよびAu/Tiから成るコプレーナ導波路の特性インピーダンスの評価

〇石田 智也¹、佐々木 文憲¹、渡邊 一世²、吹留 博一¹ (1.東北大通研、2.情通機構)

キーワード：グラフェン、コプレーナ導波路、特性インピーダンス

我々は低環境負荷な材料であるグラフェンもしくはGaNを用いたトランジスタとアンテナをSiC基板上にモノリシックに集積させた高効率な低環境負荷Beyond 5Gデバイスの開発を進めている。本発表では、情報伝送の効率を決める大きな要因のひとつである、アンテナとトランジスタをつなぐコプレーナ導波路(CPW)の特性インピーダンスについて発表する。