[22p-B204-1~18] 13.7 化合物及びパワーデバイス・プロセス技術・評価

[22p-B204-17] Bイオン注入のみで作製したダイヤモンドショットキーバリアダイオード

〇関 裕平¹、重松 誠也²、大石 敏之²、嘉数 誠²、星野 靖¹、中田 穣治¹ (1.神奈川大理、2.佐賀大理工)

キーワード：半導体、イオン注入、ダイヤモンド