2022年第83回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

1 応用物理学一般 » 1.6 超音波

[22p-C105-1~17] 1.6 超音波

2022年9月22日(木) 13:30 〜 18:00 C105 (C105)

大橋 雄二(東北大)、近藤 淳(静大)

16:15 〜 16:30

[22p-C105-11] ScAlN圧電薄膜を装荷した水晶同種材料接合構造における縦型リーキーSAWの伝搬・共振特性

藤井 雄大1、鈴木 雅視1、垣尾 省司1 (1.山梨大工)

キーワード:水晶、スカンジウム窒化アルミニウム、同種材料接合

近年,高速なLLSAWが注目されている.本研究グループでは,ScAlN薄膜を水晶支持基板と接合させた構造において低損失化等を理論的に明らかにした.また,著者らはオイラー角の異なるQz同種材料接合構造において低損失化等を理論的に明らかにしたが,比帯域幅が0.1%以下と狭い.本報告では,Qz同種材料接合上にScAlN圧電薄膜を装荷した構造上のLLSAW伝搬・共振特性を理論解析した結果について報告する.