[22p-C105-1~17] 1.6 超音波

△ [22p-C105-11] ScAlN圧電薄膜を装荷した水晶同種材料接合構造における縦型リーキーSAWの伝搬・共振特性

〇藤井 雄大¹、鈴木 雅視¹、垣尾 省司¹ (1.山梨大工)

キーワード：水晶、スカンジウム窒化アルミニウム、同種材料接合

近年，高速なLLSAWが注目されている．本研究グループでは，ScAlN薄膜を水晶支持基板と接合させた構造において低損失化等を理論的に明らかにした．また，著者らはオイラー角の異なるQz同種材料接合構造において低損失化等を理論的に明らかにしたが，比帯域幅が0.1%以下と狭い．本報告では，Qz同種材料接合上にScAlN圧電薄膜を装荷した構造上のLLSAW伝搬・共振特性を理論解析した結果について報告する．