[22p-C105-1~17] 1.6 Ultrasonics

△ [22p-C105-12] Analysis of resonance properties of longitudinal-type leaky surface acoustic wave on piezoelectric thin plate/diamond substrate structures

〇(M1)Naoto Hara¹, Masashi Suzuki¹, Shoji Kakio¹, Yasushi Yamamoto² (1.Univ. of Yamanashi, 2.Yamamoto-ADEC LLC.)

Keywords:surface wave devices, bonded dissimilar material

縦型漏洩弾性表面波(LLSAW)は，位相速度が速く，SAWデバイスの高周波化に有利であるが，伝搬減衰が大きく，Q値が低い問題点がある．本報告では，支持基板として位相速度が非常に速いダイヤモンドを採用し，圧電薄板と接合させた構造上を伝搬するLLSAWの共振特性を有限要素法により解析した結果を報告する．LN薄板との接合構造で，LTよりも19 dB大きいアドミタンス比と約3倍大きい比帯域幅を示した．