[22p-C105-1~17] 1.6 超音波

△ [22p-C105-14] 周期的空隙を有する圧電基板上の弾性表面波共振特性の解析

〇(M1)鈴木 渉志¹、鈴木 雅視¹、垣尾 省司¹ (1.山梨大)

キーワード：弾性表面波デバイス、空隙、SH0モード板波

本報告では，LN基板内部に周期的な空隙を設けた構造におけるリーキーSAW(LSAW)の共振特性の解析結果を報告する．LN基板内部に周期的な空隙を設けると，単体よりも高いQ値を示すLSAWが現れること，特に空隙の設置深さが表面から0.05λで空隙の幅をピッチの0.8~0.9程度とするとSH­₀モード板波の共振特性に近づくことをシミュレーションにより明らかにした．