[22p-C105-1~17] 1.6 Ultrasonics

△ [22p-C105-15] Resonance properties of leaky SAW fifth harmonics on bonded LiNbO₃/quartz structures

〇(M1)Hibiki Morita¹, Masashi Suzuki¹, Shoji Kakio¹, Jun Mizuno² (1.University of Yamanashi, 2.Waseda University)

Keywords:SAW, dissimilar material bonding, fifth harmonics

前報では，LiNbO₃(LN)薄板とQzを異種材料接合させた構造上のLSAW三次高調波を実験的に評価した結果を報告した．本報では，同構造におけるLSAW五次高調波の共振特性と周波数温度係数(TCF)を理論的，実験的に検討した結果を報告する．結果としては，LN/Qz構造はLN単体よりも強勢に五次高調波を励振することを実験的に明らかにした．また，TCFは，三次高調波と同様に五次高調波も大きな絶対値を示した．