[22p-C105-1~17] 1.6 Ultrasonics

△ [22p-C105-16] Resonance properties of shear-horizontal SAW on Ca₃TaGa₃Si₂O₁₄ at high temperature

〇(M2)Ryoto Suzuki¹, Masashi Suzuki¹, Shoji Kakio¹, Noritoshi Kimura² (1.Univ. of Yamanashi, 2.Piezo Studio Inc.)

Keywords:Ca3TaGa3Si2O14, shear-horizontal surface acoustic wave

著者らは前報までに新規圧電単結晶Ca₃TaGa₃Si₂O₁₄(CTGS)上を伝搬する高安定・高Qなラブ波型Shear-Horizontal(SH)波を発見した．CTGSは 1,200℃の融点まで圧電性が消失しないため，高温環境下で動作可能なSAWセンサの実現が期待できる．
本報告では，CTGS上にAu-IDTを用いて作製したラブ波型SH波共振子の500℃までの共振特性を実験的に評価した結果，およびCTGSの温度弾性定数二次温度係数について検討した結果について報告する．