[22p-C105-1~17] 1.6 Ultrasonics

△ [22p-C105-14] Analysis of SAW resonance properties on piezoelectric substrates with periodic voids

〇(M1)Takashi Suzuki¹, Masashi Suzuki¹, Shoji Kakio¹ (1.Univ. of Yamanashi)

Keywords:surface wave devices, void, SH0 mode plate wave

本報告では，LN基板内部に周期的な空隙を設けた構造におけるリーキーSAW(LSAW)の共振特性の解析結果を報告する．LN基板内部に周期的な空隙を設けると，単体よりも高いQ値を示すLSAWが現れること，特に空隙の設置深さが表面から0.05λで空隙の幅をピッチの0.8~0.9程度とするとSH­₀モード板波の共振特性に近づくことをシミュレーションにより明らかにした．