[22p-C105-1~17] 1.6 超音波

△ [22p-C105-8] 基板付き薄膜構造からの圧電薄膜のQ値抽出における横方向伝搬の影響

〇清水 祐樹^1,2、柳谷 隆彦^1,2,3,4 (1.早大先進理工、2.材研、3.JST-CREST、4.JST-FOREST)

キーワード：BAWフィルタ、Q値、圧電薄膜

スマートフォン向けのRFフィルタでは無線バンドが密接しており、高い急峻性 (Q値)が要求される。我々のグループは以前に、基板のQ_m値をリファレンスとして、基板付き薄膜構造から圧電薄膜のQ_m値を抽出する手法を提案している。本研究では、音波の横方向への伝搬が本手法で抽出されるQ_m値に与える影響について調べた。また、周囲に溝を作った島状の電極構造が横方向への伝搬の抑制に効果的であることを実験的に確認した。