[22p-C105-1~17] 1.6 Ultrasonics

[22p-C105-9] [Young Scientist Presentation Award Speech] High-order mode bulk acoustic wave resonators with polarity inverted Ge(Si)AlN/AlN films for high frequency filters applications

〇Jun Sekimoto¹, Masashi Suzuki¹, Shoji Kakio¹ (1.Univ. of Yamanashi)

Keywords:AlN film, Polarity control, Polarity inverted film

極性反転構造を圧電膜に用いた音響共振子は高次モードで共振するため周波数フィルタの高周波化に最適であると考えている。しかし、AlN薄膜の極性反転構造の多層化を実現できる極性制御方法はこれまで報告されていない。本講演ではSi, GeドープによるAlN薄膜の極性制御，その膜の圧電性について紹介する．さらに，Ge(Si)AlN/AlN構造の極性反転多層膜音響共振子の周波数特性について示す．