[22p-C200-1~15] 15.4 III-V族窒化物結晶

[22p-C200-7] AlGaN系深紫外LD構造におけるコア層へのMgドーピング効果

〇糸数 雄吏^1,2、前田 哲利¹、定 昌史¹、矢口 裕之²、平山 秀樹¹ (1.理研、2.埼玉大院理工)

キーワード：レーザダイオード、深紫外、AlGaN

レーザダイオード(LD)は、小型、長寿命、低消費電力等の利点を有し、様々な波長帯での実現が望まれている。深紫外LD構造における注入効率は低く、その傾向は短波長化に伴ってより顕著になる。低閾値化、さらなる短波長化の実現において注入効率の改善は必須である。本研究では、コア層へのMgドーピングと電子ブロック層の導入が注入効率を著しく改善することを実験的に示し、その改善機構について考察した。