[22p-C205-1~15] CS.1 2.3 加速器質量分析・加速器ビーム分析 、7.5 イオンビーム一般のコードシェア

[22p-C205-11] 中性クラスタービーム照射を用いた金属膜のALEと評価

〇田中 秀幸¹、竹内 雅耶¹、豊田 紀章¹ (1.兵庫県大工)

キーワード：原子層エッチング、中性クラスタービーム