[22p-C301-1~17] 3.6 Laser processing (formerly 3.7)

△ [22p-C301-10] Controlling particle-size distribution of spherical submicron Ag particles formed by pulsed laser ablation process using inertia effect

〇Yuma Ito¹, Takehito Yoshida², Tamao Aoki³, Ikurou Umezu³ (1.Konan Univ. Grad. Sch. Sci.& Tech., 2.NIT. Anan College, 3.Konan Univ. Fac. Sci. & Eng.)

Keywords:laser ablation, nano-particles, spherical particles

我々はTiO₂にプラズモニックナノ粒子を結合させた複合ナノ材料の作製を目指し、雰囲気ガス中でのレーザーアブレーション過程で形成された粒子について慣性効果を利用した堆積を試みている。本発表では慣性効果によるサブミクロン球状粒子の粒径分布制御が様々な金属・半導体に適応できたこと、レーザー強度による粒径分布の変化結果について紹介する。また、慣性効果とレーザー強度による粒径分布制御の設計性についても検討する。