[22p-C301-1~17] 3.6 レーザープロセシング（旧3.7）

△ [22p-C301-10] パルスレーザーアブレーション過程で形成された サブミクロン球状 Ag 粒子の慣性効果を用いた粒径分布制御

〇伊東 佑真¹、吉田 岳人²、青木 珠緒³、梅津 郁朗³ (1.甲南大自研、2.阿南高専、3.甲南大理工)

キーワード：レーザーアブレーション、ナノ粒子、球状粒子

我々はTiO₂にプラズモニックナノ粒子を結合させた複合ナノ材料の作製を目指し、雰囲気ガス中でのレーザーアブレーション過程で形成された粒子について慣性効果を利用した堆積を試みている。本発表では慣性効果によるサブミクロン球状粒子の粒径分布制御が様々な金属・半導体に適応できたこと、レーザー強度による粒径分布の変化結果について紹介する。また、慣性効果とレーザー強度による粒径分布制御の設計性についても検討する。