[22p-C301-1~17] 3.6 レーザープロセシング（旧3.7）

△ [22p-C301-14] GHzバーストモードフェムト秒レーザーによる金属への表面微細周期構造の形成

〇川端 祥太^1,2、小幡 孝太郎¹、白 石¹、宮地 悟代²、杉岡 幸次¹ (1.理研　光量子、2.東京農工大学)

キーワード：レーザー誘起表面周期構造、GHzバーストモード、フェムト秒レーザー

前回我々は、パルス間隔が数百psの超短パルス列から成るGHzバーストモードフェムト秒レーザー加工を、Si基板のレーザー誘起表面周期構造(LIPSS)形成へ拡張することを試みた。従来のフェムト秒レーザーパルスの照射方式(シングルパルスモード)では偏向方向に垂直な方向に1次元のLIPSSが形成されるが、GHzバーストモードでは偏向方向に垂直な方向に加えて平行方向にも周期を持つ2次元のLIPSSが形成され、通常のLIPSSとは異なる微細構造を形成できることを明らかにした。本研究では、GHzバーストモードフェムト秒レーザーで形成される微細構造の特性および物理的メカニズムについて検討を行うため、金属材料へのLIPSS形成を行った。