[22p-C301-1~17] 3.6 レーザープロセシング（旧3.7）

△ [22p-C301-15] フェムト秒レーザーによるガラス表面ナノ周期構造形成の無反射特性を利用したその場観察

〇(M2)長井 大輔^1,2、高田 英行²、奈良崎 愛子²、宮地 悟代¹ (1.東京農工大、2.産総研)

キーワード：フェムト秒レーザー、ガラス、ナノ周期構造

合成石英基板表面にレーザーエネルギー、走査速度を変えてフェムト秒レーザーを集光照射し、サブ波長サイズの周期を有するナノ周期構造の形成を行った。レーザー照射部分の反射率、透過率の測定と走査型電子顕微鏡による表面観察を行った結果、直線状で均一なナノ周期構造を有する部分では表面反射率が減少、透過率は増加した。これにより、無反射特性を利用したナノ周期構造形成のインプロセスモニタリングの可能性を示した。