[22p-C301-1~17] 3.6 レーザープロセシング（旧3.7）

[22p-C301-5] レーザー誘起気泡を用いた熱硬化性ポリマー内部への3次元流体構造作製(2)

〇鳥羽 陽一¹、高橋 涼平¹、山田 壮平¹、花田 修賢¹ (1.弘前大理工)

キーワード：レーザー誘起気泡、熱硬化性樹脂、マイクロ流体デバイス

我々の研究室では、レーザー誘起気泡を用いたPDMSの表面および内部微細加工技術を開発し、microFLIB (microFabrication using Laser-Induced Bubble)と命名した。本手法は、高速かつ高効率なPDMS微細加工を実現するが、加工開始位置に形成された気泡が、レーザー走査を行う最中に徐々に膨張することから、液状PDMSの粘度を変化させることで膨張が抑制されることを前回報告した。気泡の膨張抑制や気泡連結に関するメカニズムは未だ不明な部分が多く、更なる調査を行ったので報告する。