[22p-M206-1~16] 23.1 合同セッションN「インフォマティクス応用」

[22p-M206-12] 電子直接検出器と機械学習による電子線ホログラフィー計測精度の向上

〇穴田 智史¹、野村 優貴¹、平山 司¹、山本 和生¹ (1.JFCC)

キーワード：機械学習、スパースコーディング、電子線ホログラフィー

材料・デバイスの研究開発において，ナノメートルスケールの電磁場分布を高精度に評価することが重要である．本研究では，電子直接検出器 (高感度CMOSカメラ)による電子顕微鏡像の撮影とスパースコーディング(機械学習の一種)によるノイズ低減を電子線ホログラフィーに応用することで，電磁場計測の精度が20倍程度に向上することを明らかにした．