[22p-P07-1~15] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[22p-P07-1] 膜中残留炭素と酸素分圧制御によるVO₂膜の作製と特性評価

〇山田 知紀¹、田橋 正浩¹、高橋 誠¹、後藤 英雄¹ (1.中部大)

キーワード：酸化バナジウム