[22p-P07-1~15] 6.3 酸化物エレクトロニクス

[22p-P07-4] 電子強誘電体 YbFe₂O₄薄膜の相形成におよぼす照射レーザーの影響

〇(D)嶋本 健人¹、五十嵐 悠生¹、葉山 琢充¹、吉村 武¹、藤村 紀文¹ (1.阪公大院工)

キーワード：RFe2O4、強相関電子系物質、電子強誘電体

YbFe₂O₄ はバルク単結晶においても最大 20％ もの鉄欠損が生じ、薄膜ではさらに大きな組成変動が生じる 。この問題の解決には、Fe 活性種の供給を増加することが必 要となるが、レーザーエネルギーを増加させると、酸素活性種の 供給が大幅に増大し、YbFe₂O₄の形成に必要な Fe²⁺の形成を阻害 してしまう。そこで本研究では、より精密な酸素活性種の制御の ため、レーザーエネルギーをターゲット表面上のレーザー照射面 積で除して決定したレーザーフルエンス[J/cm²]( L.F)を制御パラメーターとし、製膜過程における気相状 態が YbFe₂O₄ 薄膜形成におよぼす影響について詳細 に検討する。