2022年第83回応用物理学会秋季学術講演会

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一般セッション(ポスター講演)

6 薄膜・表面 » 6.3 酸化物エレクトロニクス

[22p-P07-1~15] 6.3 酸化物エレクトロニクス

2022年9月22日(木) 13:30 〜 15:30 P07 (体育館)

13:30 〜 15:30

[22p-P07-4] 電子強誘電体 YbFe2O4薄膜の相形成におよぼす照射レーザーの影響

〇(D)嶋本 健人1、五十嵐 悠生1、葉山 琢充1、吉村 武1、藤村 紀文1 (1.阪公大院工)

キーワード:RFe2O4、強相関電子系物質、電子強誘電体

YbFe2O4 はバルク単結晶においても最大 20% もの鉄欠損が生じ、薄膜ではさらに大きな組成変動が生じる 。この問題の解決には、Fe 活性種の供給を増加することが必 要となるが、レーザーエネルギーを増加させると、酸素活性種の 供給が大幅に増大し、YbFe2O4の形成に必要な Fe2+の形成を阻害 してしまう。そこで本研究では、より精密な酸素活性種の制御の ため、レーザーエネルギーをターゲット表面上のレーザー照射面 積で除して決定したレーザーフルエンス[J/cm2]( L.F)を制御パラメーターとし、製膜過程における気相状 態が YbFe2O4 薄膜形成におよぼす影響について詳細 に検討する。