[22p-P13-1~28] 12.1 作製・構造制御

[22p-P13-28] フッ素系高分子を用いた電子線アシスト蒸着法による低屈折率反射防止薄膜の作製

〇安井 爽眞¹、大石 不二夫²、臼井 博明¹ (1.農工大院工、2.神奈川大理)

キーワード：薄膜、真空、光学