[22p-P14-1~4] 13.6 ナノ構造・量子現象・ナノ量子デバイス

[22p-P14-4] 超短パルスレーザーを使ったしきい値近傍アブレーションによる薄膜微細加工と表面洗浄技術

〇上杉 祐貴^1,2、三輪 泰斗¹、門口 尚広¹、小林 哲郎¹、小澤 祐市¹、佐藤 俊一¹、齋藤 晃³ (1.東北大、2.JSTさきがけ、3.名古屋大)

キーワード：薄膜、レーザー加工、表面洗浄

厚さが100 nmを下回るような自立薄膜を加工したり表面洗浄することは、収束イオンビーム法などの従来技術では極めて困難だった。一方で、パルス持続時間がピコ秒未満の超短パルスレーザーを用いると、自立した単原子層膜ですら加工および洗浄することが可能である。本講演において、過去に我々が達成した電子顕微鏡用の位相回折素子作製の応用例を示しつつ、本技術について紹介する。