[22p-P15-1~9] 13.8 光物性・発光デバイス

[22p-P15-2] Sm添加TiO₂薄膜の低抵抗化に向けた結晶性の評価

〇石澤 飛鳥¹、村山 真理子²、趙 新為¹ (1.東理大理、2.東洋大工技研)

キーワード：発光デバイス、希土類元素、酸化チタン

酸化チタン(TiO₂)は通常絶縁体に近いため、電流注入発光(EL)は難しいと考えられてきた。その一方で、先行研究ではTiO₂は作製条件によって十分なキャリア濃度を持つことも分かってきている。本研究では、発光デバイスへの応用を目指しサマリウム(Sm)添加TiO₂(TiO₂:Sm)薄膜を作製し、金属酸化物の酸化ルテニウム(RuO₂)をショットキー電極に用い、TiO₂:Sm薄膜の結晶性と電気的特性の関連性を評価し、キャリア濃度の見積もりを行った。