[22p-P15-1~9] 13.8 光物性・発光デバイス

[22p-P15-5] CVD 合成により成膜した ZnS:Mn 薄膜蛍光体層の光学特性

〇(M2)北脇 大靖¹、和迩 浩一¹、山本 伸一¹ (1.龍谷大院工)

キーワード：無機EL

無機 EL(EL: Electro-Luminescence)は電界印加により励起・発光するデバイスである。発光層には ZnS 系の無機蛍光体が主に用いられ、長寿命な発光デバイスへの応用が期待される。本研究では、Zn:Mn 金属薄膜を真空蒸着により成膜後、硫黄供給により ZnS:Mn 薄膜発光層の作製を検討した。