[22p-P17-1~11] 15.4 III-V族窒化物結晶

[22p-P17-1] その場 Mg 活性化アニールを用いた BGaN 中性子検出器の作製と評価

〇夏目 朋幸¹、橋本 優作¹、西川 舜¹、林 幸佑¹、川崎 晟也²、若林 源一郎³、本田 善央⁴、天野 浩⁴、井上 翼¹、青木 徹⁵、中野 貴之^1,5 (1.静大院工、2.名大院工、3.近大原研、4.名大IMaSS、5.静大電研)

キーワード：窒化ガリウム、半導体検出器、中性子イメージング