[22p-P17-1~11] 15.4 III-V族窒化物結晶

[22p-P17-3] 多機能 2 次元構造形成過程における AlN 層被覆率の N₂ガス流量依存性

〇犬飼 将成¹、橋本 明弘¹ (1.福井大院工)

キーワード：グラフェン、AlN