[23a-A307-1~5] 8.5 プラズマ現象・新応用・融合分野

[23a-A307-1] 蛍光微粒子を用いた放電プラズマシース構造の観測

〇高山 大輔¹、廣 大輔¹、朴 商云¹、唐木 裕馬²、井上 雅彦¹、田口 俊弘³ (1.摂南大理工、2.奈良先端大、3.日本原研)

キーワード：シース、蛍光微粒子

我々は、放電プラズマ中に浮遊する微粒子に特殊なコーティングを施すことによる新しい機能性材料の開発を目指している。微粒子は電極近傍のシース領域に浮遊するため、微粒子の挙動を制御するためには、シース構造の制御が必須となる。逆に微粒子の浮遊状況を観測することで、シース構造（厚みや形状）を計測できるが、我々の従来の装置では、背景のプラズマからの発光や、照明光のチャンバー壁面からの反射光などの影響ではっきり計測できないことも多かった。そこで本研究では、紫外光による照明と蛍光微粒子を用いることで、シース構造（シース厚みや形状など）を正確に観測することを試みた。