[23a-A307-1~5] 8.5 Plasma phenomena, emerging area of plasmas and their new applications

[23a-A307-2] Analysis of discharge sheath plasma using particle simulation
Generation of double layer generated in it

〇(M2C)daisuke Hiro¹, Toshihiro Taut², Daisuke Takayama¹, Inoue Masahiko¹ (1.Setsunan Univ., 2.JAEA)

Keywords:sheath, particle simulation

我々は、放電プラズマ中に浮遊する微粒子に特殊なコーティングを施すことによる新しい機能性材料の開発を目指している。微粒子は電極近傍のシース領域に浮遊するため、微粒子の挙動を制御するためには、シース構造の制御が必須となる。本研究では、任意形状の電極に対応できるように三角形メッシュを用いた静電粒子コードを新たに開発し、放電プラズマ中において電極近傍に生成されるシース構造の形成過程のシミュレーションを行った。シミュレーションの妥当性を検証するために、シース厚みの気圧依存性を計算し、理論値・実験値との比較を行った。